無(wú)油機(jī)械真空泵又稱干泵，這種泵無(wú)任何工作液。因此能保證被抽空間清潔，對(duì)周圍環(huán)境沒有污染，有人稱之為“綠色”真空泵。使用它可以提高產(chǎn)品質(zhì)量。例如，顯像管內(nèi)無(wú)油污染能保證陰極發(fā)射穩(wěn)定，圖像清晰，使用壽命長(zhǎng)；鍍膜室內(nèi)無(wú)油，能提高膜層性能，增加膜層牢固度等。因此無(wú)油機(jī)械真空泵適用于真空電子行業(yè)。

　　本文所介紹的無(wú)油機(jī)械真空泵均指直排大氣的泵。所謂無(wú)油是指在泵腔內(nèi)不使用油類和液體，而傳動(dòng)的齒輪和軸承還需要油類潤(rùn)滑，只是油蒸氣不允許進(jìn)入泵的吸氣口。

　　1無(wú)油機(jī)械真空泵的種類無(wú)油機(jī)械真空泵的種類很多，按泵的結(jié)構(gòu)，可分成接觸式和非接觸式兩大類。接觸式是指泵的運(yùn)動(dòng)件與靜止件之間有接觸、摩擦，如旋片泵、活塞泵等，其大壓縮比隨壓力大小無(wú)大幅度變化，在接近大氣壓時(shí)比非接觸式壓縮比大。非接觸式是指泵的兩運(yùn)動(dòng)件之間或運(yùn)動(dòng)件與靜止件之間沒有任何接觸，轉(zhuǎn)子需要高速旋轉(zhuǎn)，如羅茨泵、爪型泵、螺旋型泵等，其大壓縮比隨壓力變化而變化，接近大氣壓狀態(tài)時(shí)，壓縮比很小，因此需要多級(jí)組合抽氣。比較科學(xué)的方法應(yīng)該是按泵的工作原理劃分泵的種類，通常：2002-0326研和教學(xué)工作�？煞殖扇莘e型和動(dòng)量傳輸型兩大類，每一類里還包括幾種不同形式的泵，如所示111.幾種主要泵的性能比較如表1所示。

　　無(wú)油機(jī)械真空泵。*；容積型動(dòng)量傳輸型往回挹式圖i無(wú)油機(jī)械真空泵的種類2往復(fù)活塞型無(wú)油機(jī)械真空泵活塞型無(wú)油機(jī)械真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、加工容易、性能可靠、使用方便。這種泵的性能和部分生產(chǎn)廠家如表2所示，典型結(jié)構(gòu)如所示。

　　表1幾種無(wú)油機(jī)械真空泵的性能比較泵型- -般級(jí)數(shù)單級(jí)壓縮比極限壓力備注大氣端真空端羅茨泵易發(fā)熱，需冷卻爪型加工、裝配有難度活塞型怕抽帶顆粒的氣體渦旋型間隙小、難裝調(diào)螺旋型間隙小、轉(zhuǎn)速高旋片型怕抽帶顆粒的氣體螺桿型加工比較困難渦輪型多級(jí)串聯(lián)轉(zhuǎn)速高表2活塞型無(wú)油真空泵概況型號(hào)生產(chǎn)廠家極限壓力/Pa排氣壓力/Pa抽速/Ls-丨轉(zhuǎn)數(shù)/min-丨功率"（W主要特點(diǎn)DVP-500DVP-1000Varian（美國(guó)）7. 120用方便，易于維修，運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用低FujiTech單缸2.661X1053.33 251.626一個(gè)缸上可以實(shí)現(xiàn)Inc（日本）雙缸0.027三級(jí)壓縮GAST密西根WL-50上海真空泵廠溫州工業(yè)泵廠46601.5X1作臥式，真空度不高A立式，半無(wú)油，7水冷，結(jié)構(gòu)復(fù)雜LVP-100 LVP-200泰興特種泵廠13061. 5X1375性能穩(wěn)定WYA個(gè)人專利6⑴8001. 22.0泵性能不穩(wěn)定HWZ-4鞍山無(wú)油空壓機(jī)有限公司6001.5X1作4896144空冷，V型，無(wú)十字頭，噪聲較大陰轉(zhuǎn)子按順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，為從動(dòng)轉(zhuǎn)子，圖中轉(zhuǎn)子端面是吸氣面，機(jī)殼上有特定形狀的吸氣口，如圖中粗實(shí)線所示。

　　典型活塞型無(wú)油機(jī)械泵結(jié)構(gòu)示意圖為三級(jí)4腔泵，1，2腔為并聯(lián)，當(dāng)入口在高壓力區(qū)12腔可通過(guò)輔助排氣閥直接向大氣中排氣，當(dāng)入口壓力下降到不能推開輔助排氣閥時(shí)，三級(jí)4腔才串聯(lián)壓縮。這種泵的主要缺點(diǎn)除不能抽出帶顆粒的氣體外，其壽命受到活塞和吸排氣閥壽命的影響，需要定期更換。

　　3螺桿型無(wú)油機(jī)械真空泵螺桿式與活塞式真空泵都屬于容積式真空泵。

　　其主要優(yōu)點(diǎn)是：①零部件少，沒有易損件，因而壽命長(zhǎng)；②動(dòng)平衡性好，沒有不平衡慣性力，工作平穩(wěn)；③無(wú)喘振現(xiàn)象，實(shí)現(xiàn)連續(xù)排氣；④可以抽除含水蒸氣、粉塵的氣體。主要缺點(diǎn)是造價(jià)高，轉(zhuǎn)子齒面是一空間曲面，需利用特制刀具和專用機(jī)床；氣缸的加工精度要求也高。

　　螺桿式無(wú)油真空泵的工作循環(huán)可分為吸氣、壓縮和排氣3個(gè)過(guò)程。隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，一對(duì)齒的工作循環(huán)可表示為：吸氣過(guò)程如所示，所研究的一對(duì)齒用箭頭標(biāo)出，圖中陽(yáng)轉(zhuǎn)子按逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，為主動(dòng)轉(zhuǎn)子，螺桿式無(wú)油真空泵吸氣過(guò)程圖中（a）表示一對(duì)齒前端型線完全嗤合。隨著轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)，逐漸脫離嚙合，形成了齒間容積，內(nèi)部形成了一定的真空，氣體在壓差作用下，從吸氣口流入齒間容積，如圖）中陰影部分所示。隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，齒間容積不斷擴(kuò)大，并與吸氣口保持相通，其過(guò)程有如活塞（陽(yáng)轉(zhuǎn)子）在氣缸（陰轉(zhuǎn)子）中滑動(dòng)吸氣。

　　吸氣結(jié)束時(shí)的轉(zhuǎn)子位置如圖（）所示，此時(shí)齒間容積達(dá)大值，齒間容積與吸氣孔口斷開。

　　壓縮過(guò)程示出螺桿泵的壓縮過(guò)程。

　　圖中轉(zhuǎn)子端面是排氣端，機(jī)殼上的排氣口如圖實(shí)線所示，陽(yáng)轉(zhuǎn)子順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，陰轉(zhuǎn)子逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)。圖中（a）示出壓縮過(guò)程即將開始時(shí)的轉(zhuǎn)子位置，氣體被轉(zhuǎn)子齒和機(jī)殼包圍在一個(gè)封閉的空間中，齒間容積由轉(zhuǎn)子齒的嚙合開始減小。

　　隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)（如圖（b）），齒間容積不斷減小，導(dǎo)致壓力升高，實(shí)現(xiàn)氣體的壓縮過(guò)程，一直到圖（c）中的位置，齒間容積即將與排氣口相通。

　　排氣過(guò)程如所示，齒間容積與排氣口相通，隨著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，齒間容積繼續(xù)減小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過(guò)排氣口排出。這個(gè)過(guò)程一直到齒末端型線完全嚙合，封閉的齒間容積變?yōu)榱恪?/p>

　　螺桿式無(wú)油真空泵的排氣過(guò)程這種泵故障率低、壽命長(zhǎng)，給用戶帶來(lái)方便，受使用者歡迎。但因螺桿型線復(fù)雜，加工困難，成本較高，市場(chǎng)售價(jià)偏高。

　　典型螺桿泵的性能列于表3鄭新，熊曉楠等。脈沖雷達(dá)發(fā)射機(jī)頻譜控制的研究。

　　強(qiáng)伯涵，魏智�，F(xiàn)代雷達(dá)發(fā)射機(jī)的理論設(shè)計(jì)和實(shí)踐。.